题目
更新时间：2026-08-03 09:29:05
求解答，词语聚焦环是什么意思？再说说聚焦环有什么含义？答案
聚焦环的词语属性
拼音jù jiāo huán
拼音字母ju jiao huan
拼音首字母jjh
注音ㄐㄩˋ ㄐㄧㄠ ㄏㄨㄢˊ
注音符号ㄐㄩ ㄐㄧㄠ ㄏㄨㄢ
注音首符号ㄐㄐㄏ
聚焦环的词语解释
聚焦环[ jù jiāo huán ][ ㄐㄩˋ ㄐㄧㄠ ㄏㄨㄢˊ ]
聚焦环和等离子体处理装置，在可以提高处理的面内均匀性的同时，与现有技术比较，还可以减小淀积对半导体晶片的周缘部分背面一侧的发生。
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